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商品説明半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
基本情報ジャンル建築・理工フォーマット本出版社オーム社発売日2002年07月ISBN9784274087271発売国日本サイズ・ページ331p 26cm(B5)関連キーワード アルバック シンクウハンドブック 9784274087271 【FS_708-2】出荷目安の詳細はこちら>>楽天市場内検索 『在庫あり』表記について

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